摘要
准分子激光(Excimer Laser)已成为继CO_2激光与YAG激光之后的第三位的工业用激光。准分子激光最重要的特徵是具有紫外线波长范围的高输出功率,便于对半导体元件、电子元件等进行微细加工,且具有不同于红外线激光(CO_2激光、YAG激光)的加工特性,可对用其它能源难以加工的材料进行加工,甚至可以作为一种有力的工具而广泛应用于化学能源、医疗等领域。这里介绍用准分子激光进行消熔性加工的加工特性及用途。
出处
《世界制造技术与装备市场》
1996年第3期17-18,共2页
World Manufacturing Engineering & Market
