摘要
原子力显微镜(AFM)是纳米科技研究中一个重要工具。影响AFM测量图像质量的因素很多,本文从AFM扫描参数选择的角度,研究扫描参数对样品表面均方根粗糙度的影响。实验和理论分析表明,扫描速度、反馈控制参数中的比例常数P和积分常数I的选择均对样品的表面粗糙度测量及评定产生影响。
Atomic force microscopy（AFM）is a powerful and versatile tool for measuring surface topography on nano-scale. Many factors affect the quality of surface image. In this paper, scanning parameters of AFM is discussed. Experiments and analysis show scanning speed, proportional parameter, integral parameter affect the evaluation of surface roughness.
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2007年第1期32-35,共4页
Journal of Chinese Electron Microscopy Society
关键词
原子力显微镜
扫描参数
表面粗糙度
atomic force microscopy
scanning parameter
surface roughness
