Emerson推出新型Brooks系列高纯度涡轮蒸汽器系统

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摘要近日．Emerson过程管理部推出Brooks／MSPModel 2820型涡轮蒸汽器系统．用于优质水滴和直接液体喷射（DLI）蒸汽的实现。这种新型模型被设计来从液体反应物中产生高纯度的蒸汽，这种液体反应物需要薄膜沉积作用．其应用范围包括半导体膜、化学研究、催化剂生产、光导纤维、光学镀层、工业化镀层和燃料电池中。

出处《世界仪表与自动化》 2007年第2期77-77,共1页 International Instrumentation & Automation

关键词蒸汽系统涡轮纯度液体喷射光学镀层催化剂生产过程管理

分类号 V232.4 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]

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