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EM400电子显微镜离子泵故障的排除

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摘要 目前我国拥有菲利浦EM400电子显微镜的单位为数不少,随着时间的推移,设备故障不断发生,维修工作已成为用户关心的重要问题。我们在EM400电子显微镜维修方面做了一些工作,先后排除了“离子泵工作异常”,“束斑范围不稳”,“高压消失”等故障。本文先介绍“离子泵工作异常”的排除过程,其它故障排除介绍,以后陆续发表,供同道们参考。故障现象:显示“真空状态”板面表头的选择器RB-SK9无论放在“自动”(Automatic)或“HV_2”手动位置上,表头RB-ME1指针摆动,“HV_2”真空显示值不稳。
作者 刘学文
出处 《电子显微学报》 CAS CSCD 1990年第3期281-281,共1页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society
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