摘要
辉光放电型溅射中性粒子质谱(SMMS)是当今表面分析中值得推广应用的一种新技术。它通过放电等离子体中的离子溅射样品表面,产生溅射中性粒子,然后用质量分析器分析后电离的中性粒子,因而它与AES和SIMS相比,由于没有基体效应以及各种元素间的相对灵敏度比较均一,因而更易于定量。 本文介绍了我们研制的这套SMMS系统,详述了这套系统的工作原理以及结构特点。该系统的离子源采用射频放电形式,因而它既能分析导体、半导体,又能分析绝缘体;它不仅能够进行固体和薄膜表面的成份分析,而且能够进行深度剖面分析。
出处
《电子器件》
CAS
1989年第2期13-18,共6页
Chinese Journal of Electron Devices
