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首个高纯微电子化学品项目投产

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摘要经过一年多的建设，年产15000吨的我国首个超净高纯微电子化学品项目于2006年9月在上海华谊微电子材料有限公司建成投产。项目包括了大规模集成电路制造所需的超净高纯硫酸、硝酸、盐酸、醋酸、氨水、氢氧化铵、双氧水等各种主要化学品，改变了国内此类产品完全依赖进口的状况。

出处《无机化工信息》 2006年第3期31-32,共2页 Inorgaic Chemical News

关键词电子化学品项目高纯投产集成电路制造微电子材料氢氧化铵双氧水

分类号 TQ133.1 [化学工程—无机化工]

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无机化工信息

2006年第3期

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