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被致冷零件的红外透光膜

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摘要研究出锗透镜用的由类金刚石薄膜构成的透光膜和磁半导体尖晶石ＨｇＣｒ２Ｓｅ４用的由氧化钇和类金刚石薄膜构成的双层透光膜工艺。膜层具有良好的附着力，在８０Ｋ￣３００Ｋ温度范围内经受得住低温。

作者 С.,ЮП

出处《云光技术》 1996年第6期54-56,共3页

关键词红外器件透光膜

分类号 TN214 [电子电信—物理电子学]

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云光技术

1996年第6期

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