微电子机械系统及其应用

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摘要本文介绍了微电子机械系统及其技术的一般含义，并对微电子机械系统的典型结构作了详细阐述，最后对其应用前景进行了简单分析。

作者陈佳品吴智政

机构地区上海交通大学信息存储研究中心上海交通大学自动化研究所

出处《电子机械工程》 1996年第6期1-4,共4页 Electro-Mechanical Engineering

关键词微电子机械系统微传感器微驱动器

参考文献1

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电子机械工程

1996年第6期

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