MOSFET器件回顾与展望(上) 被引量：3

History and Perspective of MOSFET(Ⅰ)

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摘要简述了MOSFET器件工作原理,回顾了器件发展历程,列出亟待解决的器件工艺问题以及面临的挑战。 A brief introduction of the operation principal on the MOSFET device was given. The history and the most important achievements on the MOSFET device and processing were listed. The great challenges and the solutions to the MOSFET were also described.

作者肖德元夏青陈国庆

机构地区中芯国际集成电路(上海)有限公司存储器技术发展中心上海第二工业大学

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第11期805-809,827,共6页 Semiconductor Technology

关键词金属氧化物半导体场效应晶体管微电子技术发展历程与挑战 MOSFET microelectronics development courses and challenges

分类号 TN386.1 [电子电信—物理电子学]

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半导体技术

2006年第11期

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