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真空微电子荧光平板显示器件的实验研究

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摘要描述了真空微电子荧光平板显示器件的工作原理，提出了采用反应离子刻蚀法制作大规模场致发射阵列的工艺，在动态真空系统中测定了荧光平板显示器件的场发射特性，并获得了结果。

作者李志能刘杰明陈秀峰

机构地区浙江大学信息与电子工程学系

出处《真空科学与技术》 CSCD 1996年第4期292-295,共4页 Vacuum Science and Technology

基金博士点基金浙江省自然科学基金

关键词真空微电子学荧光平板显示器显示器件

分类号 TN141 [电子电信—物理电子学]

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参考文献1

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共引文献2

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真空科学与技术

1996年第4期

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