微机械力敏传感器及其发展动向被引量：4

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摘要微机械加工技术的出现把传感器，特别是力敏传感器，推向一个新的发展阶段。微机械力敏传感器以其小型、廉价和集成化等优点已成为力敏传感器发展的主流。本文介绍微机械压力传感器、加速度传感器和微机械陀螺的现状及其发展动向。

作者鲍敏杭沈绍群

机构地区复旦大学

出处《电子科技导报》 1996年第10期8-12,共5页

关键词力敏传感器压力传感器微机械

分类号 TH812 [机械工程—精密仪器及机械]

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1张维新,毛赣如,姚素英,曲宏伟.多晶硅压力传感器[J].天津大学学报,1996,29(3):466-468. 被引量：4
2王跃林,刘理天,郑心畲,李志坚.多晶硅应变膜压力传感器[J].Journal of Semiconductors,1990,11(9):694-697. 被引量：4
3刘晓为,张国威,刘振茂,郭青,高家昌,范茂军,段治安,崔光浩.多晶硅高温压力传感器[J].传感器技术,1990(5):34-34. 被引量：3
4任森,苑伟政,邓进军.一种硅微谐振式压力传感器的敏感膜片设计[J].传感技术学报,2006,19(05B):1855-1858. 被引量：5
5Bao Minhang,Wang Weiyuan.Future of microelectromechanical systems(MEMS).[J]Sensors and Actuators,1996,A56:135～141.
6Wallis G,Pomerantz D I.Field assisted glass-metal sealing.[J]J Appl Phys,1969,40(10):3946～3949.
7Kanda Y,Matsuda K,Murayama C et al.The mechanism of field-assisted silicon-glass bonding.[J]Sensors and Actuators,1990,A21-A23:939～943.
8焦海龙,陈德勇,王军波,张健,曹明威.基于SOI-MEMS技术的静电驱动-电容检测硅谐振器(英文)[J].纳米技术与精密工程,2013,11(5):447-452. 被引量：2
9苑伟政,任森,邓进军,乔大勇.硅微机械谐振压力传感器技术发展[J].机械工程学报,2013,49(20):2-9. 被引量：25

引证文献4

1王权,丁建宁,王文襄,杨平.一种硅芯片/玻璃环静电键合的简易装置[J].真空科学与技术学报,2005,25(3):214-216. 被引量：2
2崔虹云,张海丰,吴云飞.Al金属多晶硅纳米膜欧姆接触的制作[J].佳木斯大学学报（自然科学版）,2009,27(5):711-714. 被引量：2
3张萍.金属箔式应变片三种桥式转换电路的性能研究[J].考试周刊,2011(55):171-172. 被引量：1
4平文,孔德义,单建华.硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真[J].仪表技术与传感器,2017(3):1-4. 被引量：8

二级引证文献13

1张子鹤,刘振华,陈勇,卢云.压力传感器的硅玻静电键合[J].世界科技研究与发展,2011,33(2):268-270. 被引量：1
2周玉雪.《传感器原理及应用》教学改革浅探[J].考试周刊,2011(76):12-12.
3崔虹云,吴云飞,张海丰,韩海生,朱雪彤,李金鑫.两种欧姆接触电阻率测量方法的研究[J].佳木斯大学学报（自然科学版）,2012,30(5):746-748. 被引量：1
4崔虹云,张海丰,吴云飞,李祖君,王超,董艳红.多晶硅纳米膜欧姆接触特性的研究[J].黑龙江工程学院学报,2013,27(1):71-74. 被引量：1
5齐虹,丁文波,张松,张林超,田雷,吴佐飞.圆片级叠层键合技术在SOI高温压力传感器中的应用[J].传感器与微系统,2019,38(2):154-156. 被引量：4
6许高斌,徐枝蕃,胡海霖,陈兴,马渊明.硅微谐振式压力传感器闭环频率跟踪电路[J].仪表技术与传感器,2019(10):1-4.
7许高斌,陈诚,陈兴,马渊明,于永强,张倩.一种用于复杂环境下的高精度微型谐振式压力传感器[J].真空科学与技术学报,2019,39(11):980-988. 被引量：8
8许高斌,胡海霖,徐枝蕃,陈兴,马渊明.谐振式MEMS压力传感器的设计与分析[J].仪表技术与传感器,2019(12):5-11. 被引量：8
9邢心魁,宁博宏,林揽日,丁家玮.光纤光栅土压力盒设计[J].仪表技术与传感器,2021(3):14-18. 被引量：2
10刘冠军,徐方松,刘瑛,郑贤德,王钦,邱静.硅基与石墨烯基谐振式压力传感器研究进展[J].测控技术,2021,40(11):1-10. 被引量：3

1薄纪康.微机械压力传感器结构稳健优化与实验研究[J].机械设计,2013,30(6):68-72.
2鲍敏杭,陈宏.微机械传感器的新进展[J].上海微电子技术和应用,1996(1):38-42.
3李炳乾,张淳民,朱长纯,王小力.Fabry-Perot干涉仪的新应用[J].工科物理,1998,8(4):26-29. 被引量：2

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