纳米硅薄膜界面中的环形结构

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摘要纳米固体材料由于具有高浓度界面的结构特性以及相伴随着的新颖物性,1984年以后在材料各个领域得以迅速发展。近年来,随着纳米材料在许多领域的兴起,纳米硅薄膜也受到人们越来越多的关注。纳米硅薄膜是由大量的纳米尺寸晶粒及晶粒间界面构成。由于晶粒具有无规则分布的特征,使得界面具有不同的结构和键合特征。界面对纳米硅薄膜的结构和物性具有极其重要的影响。

作者韩伟强魏赛珍韩高荣毛祖遂张建华丁子上

机构地区清华大学现代应用物理系浙江大学物理系浙江大学材料科学系

出处《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第16期1520-1522,共3页 Chinese Science Bulletin

基金国家自然科学基金

关键词电子显微镜半导体纳米硅薄膜界面环形结构

分类号 O471 [理学—半导体物理] TN304.12 [电子电信—物理电子学]

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