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快速沉积耐蚀化学镀层性能研究 被引量:5

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摘要 在通过优选法获得一种耐蚀化学位层快过沉积工艺配方的基础上,对所获得的镀层进行性能测试,以评价快速沉积镀层的质量,从而证实工艺配方的可靠性.
作者 李异 黄岳山
机构地区 华南理工大学
出处 《表面技术》 CAS CSCD 1996年第5期12-14,共3页 Surface Technology
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参考文献1

二级参考文献3

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