球面离子注入均匀性的计算机模拟

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摘要近几年来,金属材料的真空处理技术飞速发展,从原来的真空热处理,发展到今天的真空镀膜和在金属中的离子注入技术。无论是金属表面的镀膜还是在金属中注入离子,均可改善金属材料的机械性能。

作者张树林李争显

机构地区东北工学院国营建光机器厂

出处《电子工业专用设备》 1989年第2期27-28,共2页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词离子注入计算机模拟球面均匀性

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电子工业专用设备

1989年第2期

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