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WJY—101型硅抛光片表面质量检查仪

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摘要本文将详细地介绍一种新近研制,并主要用于φ50、φ75、φ100毫米三种规格的硅抛光片外观质量检查的WJY—101型抛光片表面质量检查仪及其主要技术性能、设计原理和结构特点。

作者杨建忠

机构地区机电部第四十五研究所

出处《电子工业专用设备》 1989年第2期36-39,共4页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词抛光片表面质量检查仪硅

分类号 TN305.2 [电子电信—物理电子学]

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电子工业专用设备

1989年第2期

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