抽速可达40米^3／秒的高能力涡轮分子泵系列

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摘要本文记述了抽速为５－２０米＾３／秒（对Ｈｅ）的高可靠性涡轮分子泵及其参数，经系列泵根据双流层原理制成，其极限压强大的约为５×１０＾－８Ｐａ；压缩比为（０．６－２．１）×１０＾４（对Ｈ２）和（０．９～３．２）×１０＾５（对Ｈｅ）溅余气体的主要成分是氢气，同时，此原采用了动密封以防来自轴承装置的油渗入被抽空腔内。油通过轴承被排出。

作者 Saks.,GL 王丽

出处《四川真空》 1996年第3期32-36,共5页

关键词真空泵涡轮分子泵抽速参数

分类号 TB752.27 [一般工业技术—真空技术]

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