期刊文献+

脉冲激光沉积类金刚石薄膜涂层研究 被引量:3

在线阅读 下载PDF
导出
摘要 利用YAG脉冲激光器的355nm和532nm波长制各类金刚石薄膜,采用电极放电法来激发激光等离子体出射簇,发现可较好地提高薄膜的红外透过率;薄膜的红外吸收谱中没有c—H吸收带,具有较好的金刚石特性;薄膜可作为红外光学元件和有机小型机械的耐磨涂层。
出处 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 1996年第5期23-26,共4页 Diamond & Abrasives Engineering
  • 相关文献

同被引文献16

  • 1马丙现,姚宁,杨仕娥,鲁占灵,樊志勤,张兵临.氢的强化刻蚀对金刚石薄膜品质的影响与sp^2杂化碳原子的存在形态[J].物理学报,2004,53(7):2287-2291. 被引量:13
  • 2姬荣斌,张志林,刘祖刚,赵伟明,陆慧庆,许少鸿.用射频CVD法在石英玻璃上生长微晶金刚石薄膜[J].厦门大学学报(自然科学版),1995,34(3):363-367. 被引量:1
  • 3Pan L S,Mat Res Symp Proc,1995年,416卷,407页
  • 4毕兆琪,中国激光,1994年,21卷,1期,65页
  • 5Xu N S,J Phys D,1993年,26卷,1776页
  • 6Wang C,Electron Lett,1991年,27卷,1459页
  • 7赵立新.激光参数对激光溅射沉积类金刚石膜的影响[J].牡丹江大学学报,1999,(3):58-58.
  • 8Peng Hongyan, Sen Jiajing, Yang Guilong. Study of Nanocrystalline Diamond Film Deposited Rapidly By 500 W Excimer Laser[J]. CHINESE JOURNAL of LASERS. 2000 ,B9(3 ) :201.
  • 9D. T. Peeler and P. T. Murray. Dynamic of Amorphous Carbon Film Grouth By Pulsed Laser Deposition Rinltic Energy of The Incident Particles [J]. Diamond and Related Materials, 1994 ( 3 ) : 1124.
  • 10Jayshree Seth, R. Padiyath, D. H, Rasmussen, et, al, Laser - Plasma Deposition of Diamond Phases At Low Temperatures[J]. Appl. Phys. Lett. 1993,63 (4) :473.

引证文献3

二级引证文献14

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部