摘要
利用Q-开关Nd:YAG激光器产生的1.06μm、140ns的脉冲激光聚焦在空气中的石英靶上,采集激光诱导的石英等离子体发射光谱,在室温大气压下利用高速摄影机对激光加工过程中伴随产生的等离子体的动态过程进行监测研究;在局部热力学平衡条件(LET)近似下,估算了等离子体电子平均温度随时间的变化规律;提出室温下等离子体加工石英微通道过程中等离子体性质发生变化的特征时间为1000μs和400μs;影响等离子体加工质量的关键因素可能包括通道内部气压值。
Using Nd： YAG laser （with a wavelength of 1064nm and a pulse width of 140ns） ablate quartz target in air in the room temperature at atmosphere condition to observe the emission spectra of quartz plasma. A high velocity camera was used to capture the images of the laser-induced plasma under the room temperature in air during the laser micromachining to study the dynamic character of the plasma. Under the model of local thermodynamic equilibrium, the average temperatures of quartz plasma are deduced with time by the relative line intensities. And the characteristic time of the plasma change is 1000μs and 400μs. The possible factor that may impact the plasma dynamic is the interior pressure of the tube.
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2006年第6期64-67,共4页
Laser & Optoelectronics Progress
基金
国家自然科学基金(50375031)教育部优秀青年教师资助计划(2003年)春晖计划(2003年591号)贵州省科学基金(3014
3005)贵州省国际科技合作计划(黔科合国字(2004)110 04号)
关键词
激光加工
等离子体
特征时间
平均温度
光学研究
laser manufacture
plasma
characteristical time
plasma average temperature
optical analysis
