不锈钢靶材磁控溅射的研究

下载PDF

导出

摘要本文概述了用引拉法测定不锈钢靶材磁控溅射薄膜结合力的试验，以及试验所用材料和方法，并对其结果进行分析，得到最佳工艺参数值为基材加热温度８００℃、氩压５３３×１０＾－８、偏压－２００Ｖ、溅射时间１．０－２．０ｈ。

作者黄建民

机构地区铸造厂

出处《首钢科技》 1996年第3期42-45,共4页 Shougang Science and Technology

关键词不锈钢磁控管溅射靶材表面处理

1Holl.,HW,李石金.物理气相沉积硬镀层的先进概念[J].国外核聚变与等离子体应用,1992(3):67-71.
2邓键.无缝镀铜药芯焊丝SF—50A[J].焊接研究与生产,1997,6(2):85-88.
3楼竞,戴明泉.采用车拉法加工曲轴的组合机床[J].组合机床与自动化加工技术,1989(12):9-12.
4卢燕,郭慧稳.磁控管起泡现象解析[J].有色金属加工,2008,37(4):34-35.
5孙志文,周彩红.钼金属在微波炉磁控管领域的应用[J].中国钼业,2014,38(2):56-59. 被引量：1
6В.В.Чигарев,宋忠明.零件电接触强化用材料和方法[J].国外机车车辆工艺,2016,0(6):34-36.
7熊忠琪,邓琦林.不锈钢堆焊层抗磨损腐蚀性能的实验研究[J].电加工与模具,2009(2):40-43. 被引量：3
8张晓化,刘道新.Effect of TiN/Ti multilayer on fretting fatigue resistance of Ti-811 alloy at elevated temperature[J].中国有色金属学会会刊：英文版,2009,19(3):557-562. 被引量：4
9肖恂,王艳海.意大利巴拉法蒂刀塔故障处理[J].设备管理与维修,2013(1):40-40.
10张金相.同轴磁控管用马蹄型磁钢的研制[J].金属材料研究,1992,18(3):85-87.

首钢科技

1996年第3期

浏览历史

内容加载中请稍等...