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RF系统

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摘要 HPG是一种大功率RF功率供应平台，应用于大面积等离子工艺，经过了优化布局，该系统的质量指标和可靠性都得以改善，其先进之处还包括功率控制、测量和故障诊断方面的强大功能，它采用固态传动和真空管放大器。

出处《集成电路应用》 2006年第5期45-45,共1页 Application of IC

关键词 RF系统真空管放大器 RF功率等离子工艺优化布局质量指标功率控制故障诊断 HPG 可靠性

分类号 TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学] TN722 [电子电信—电路与系统]

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集成电路应用

2006年第5期

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