Entegris在SEMICON China上展示晶片和光罩客户解决方案

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摘要中国上海／明尼苏达州明尼阿波利斯CHASKA讯：Entegris，Inc．携其业界领先的晶片和光罩处理产品参加了在上海举行的SEMICON China 2006展览会。Entegris在本周的展会上展示了其4种领先的产品，它们分别是φ300mm FOSB（前面开口传输盒）、Spectra^TM FOUP（前面开口一体盒）和SMP625单光罩包装盒以及高级光罩SMIF盒。Entegris是净化、保护和传输中的重要生产材料的全球市场领先者。

出处《电子工业专用设备》 2006年第4期5-6,共2页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词 SEMICON China 光罩晶片展示客户明尼苏达州全球市场 INC 展览会

分类号 TN3-28 [电子电信—物理电子学] TS2-28 [轻工技术与工程—食品科学与工程]

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电子工业专用设备

2006年第4期

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