摘要
介绍了等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD),研究分析了基于PLC和触摸屏的系统温度控制方法。该方法提高了PECVD系统的自动化控制水平,确保了工艺的重复性和稳定性。
PECVD is introduced in this paper, A method of temperature control based on PLC and touch panel is analyzed. This method improves the automatic control level of PECVD and ensures the repeatability and stability of the process.
出处
《弹箭与制导学报》
CSCD
北大核心
2006年第1期140-141,共2页
Journal of Projectiles,Rockets,Missiles and Guidance
关键词
PECVD
温度控制
可编程控制器
触摸屏
冗余设计
PECVD
temperature control
programmable logic controller （PLC）
touch panel, redundant design
