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1996年展望硅微电子技术发展趋势被引量：2

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摘要从硅微电子技术发展构图出发，在器件及其结构、工艺技术、集成电路各方面阐述了硅微电子技术在未来１５年内的发展趋势，并分析了它的发展极限及未来。

作者许忠义白丁

机构地区北京微电子技术研究所

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1996年第3期1-6,共6页 Semiconductor Technology

关键词硅微电子技术发展趋势微电子器件结构

分类号 TN04 [电子电信—物理电子学]

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半导体技术

1996年第3期

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