同被引文献4
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1聂磊,蔡坚,贾松良,王水弟.微电子封装中等离子体清洗及其应用[J].半导体技术,2004,29(12):30-34. 被引量：20
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2田地.氟化石墨的研究与应用前景[J].矿产保护与利用,1995,15(6):23-26. 被引量：6
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3王井,代小刚,徐同宽,崔励.氟系清洗剂的现状与展望[J].清洗世界,2006,22(7):27-30. 被引量：4
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4张国柱,杜海文,刘丽琴.等离子清洗技术[J].机电元件,2001,21(4):31-34. 被引量：28
二级引证文献2
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1顾睿,何淑豪,冯凯,黄帅.网电极沿面介质阻挡放电等离子体润湿性改性及清洗性能研究[J].表面技术,2023,52(12):147-159. 被引量：2
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2薛家祥,王一统,马财钰,金礼.石墨舟清洁等离子电源设计与控制[J].自动化与仪表,2024,39(6):21-24.
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2氟化炭的提纯方法[J].碳素译丛,1995(1):13-16.
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3李英儒,李志敬,潘养和,王保福.长足发展中的CF密封填料[J].新型炭材料,1997,12(4):21-28. 被引量：2
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4刘志超,卢嘉春,黄萍,朱敏华,方荃.几种氟化碳材料的结构与电化学性能[J].材料保护,2013,46(S2):53-55. 被引量：4
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10孙全海.CO_2阻塞液氧泵过滤器和装置低负荷启动[J].深冷技术,2003(2):38-41.
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