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材料表面性质的椭偏光谱分析法

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摘要本文介绍了椭偏光谱仪的构造以及用这种装置对两种材料表面进行分析,其结果与国外文献所报道的用其它类型椭偏光谱仪所测得的结果完全一致,说明该装置完全可用。又因椭偏光谱分析法具有快速性和非破坏性的优点,因而可将它广泛地应用在材料鉴别及生产过程的监控上.

作者黄威

机构地区鞍钢工学院

出处《鞍钢技术》 CAS 北大核心 1990年第3期21-24,共4页 Angang Technology

关键词光谱法材料表面性质椭偏光谱仪

分类号 TG115.339 [金属学及工艺—物理冶金]

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鞍钢技术

1990年第3期

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