摘要
在离子源研究中,光谱分析作为一种重要的实验手段具有不可替代的优越性和便利性。作为一种非接触式的等离子体诊断手段,光谱分析可以在不影响离子源放电工作状态的前提下,对离子源放电等离子体的有关参数迅速作出测量和判断。本文列举了光谱诊断方法在离子源研究中的几种典型应用。
Spectrum diagnosis, as an important experimental method, is convenient and irreplaceable in ion source investigation. As a non-contact plasma diagnosis method, it can measure and estimate the plasma parameters of ion source rapidly without disturbing ion source discharge. Several typical applications of spectrum diagnosis used in ion source studies are introduced in this paper.
出处
《核技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期108-111,共4页
Nuclear Techniques
基金
国防科技基础研究基金
关键词
离子源
等离子体
光谱诊断
Ion source, Plasma, Spectrum diagnosis
