二级引证文献3
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1李小兵,黄钱飞,陈强,余桂英,黎冬贵.准分子激光表面形貌修饰技术[J].江西冶金,2006,26(5):6-8. 被引量：1
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2袁根福,曾晓雁.硬脆性无机材料激光成形加工研究与应用现状[J].激光与光电子学进展,2002,39(6):47-51. 被引量：18
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3王玺,雷武虎,张永宁,王毕艺,李乐.193 nm紫外激光对单晶硅的损伤特性研究[J].航天电子对抗,2023,39(5):44-47. 被引量：1
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1楼祺洪.高功率准分子激光的发展现状及一些应用前景[J].国外激光,1990(2):6-8. 被引量：1
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2王世贵.准分子激光光刻技术[J].国外激光,1990(3):29-32.
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3楼祺洪.准分子激光及其在微细加工中的应用[J].电子器件,1994,17(2):13-19.
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4姚永邦.准分子激光20年[J].光电子技术与信息,1995,8(5):1-6. 被引量：1
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5楼祺洪.日本准分子激光的进展[J].强激光技术进展,1996,6(1):20-24.
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6冯伯儒.准分子激光的应用[J].微细加工技术,1994(3):43-51. 被引量：4
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7刘海北.准分子和准分子雷射[J].光学工程,1990(37):41-43.
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8友清.用准分子激光进行微加工[J].激光与光电子学进展,1998,35(8):30-33.
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9《微细加工技术》征订／征稿启事[J].微细加工技术,2004(4):55-55.
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10吴健昌.国外微细加工技术的新进展[J].微细加工技术,1990(4):44-47.
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