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高纯气体输送管路的防污染措施被引量：6

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摘要由于微粒污染对高纯气体的重要影响,本文从系统设计、材料选择、配管技术等方面介绍了控制微粒污染的方法。

作者施红平

机构地区中国电子系统工程第二建设有限公司

出处《安装》 2006年第2期30-31,共2页 INSTALLATION

关键词高纯气体微粒

分类号 TU834.8 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]

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