摘要
迄今为止,所有有关高频感应耦合热等离子体发生器的数值模拟均以一维电磁场为基础。本文提出了包括二维电磁场的完整而又自洽的二维数值模拟方法。典型的数值分析结果表明,发生器进口附近及激发线圈区内部的电磁场、速度和温度分布与以前的结果有明显的差別,低功率时更为明显。文中详细比较了本文建议的数值模拟方法与以前的准二维方法的计算结果,以揭示准二维方法中采用一维电磁场假定所带来的误差。
出处
《中国科学（A辑）》
CSCD
1989年第12期1279-1287,共9页
Science in China(Series A)
基金
国家自然科学基金
