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电子束扫描LiNbO_3制备畴反转光栅 被引量:5

Fabrication of Domin-inverted Grating in LiNbO_3 by Electron-beam Scanning
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摘要 使用日产HITACHIX-650型扫描电镜实现了LiNbO3晶体的周期性电畴反转,电子束扫描是在晶体的负畴面实现的.晶体表面上的扫描轨迹是断续的,晶体表面的畴反转宽度小于晶体内部的畴反转宽度。对不同的扫描速率和扫描电流得到了不同的畴反转宽度和深度。对畴反转的机理也进行了探讨。 A domain-inverted grating is realized by using a scanning electron microanalyzer.Domain inversion in Z- cut LINbO3 by injecting electrons into C- face was Observed. It wasfound that the scanning trace on the crystal surface tended to segment and the inversionwidth near the crystal surface was thinner than that inside the crystal. With different scanrates and beam currents, we get different domain widths and depths. The domain inversionmechanism was also discussed roughly.
机构地区 天津大学物理系
出处 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第6期505-508,共4页 Chinese Journal of Lasers
关键词 电子束扫描 畴反转光栅 铌酸锂晶体 光栅 electron scanning,domain-inverted grating,waveguide,LiNbO_3, secondharmonic wave,scanning rate,line-charge density
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