摘要
本文介绍了电子背散射衍射(EBSD)分析技术的基本原理、发展历史、EBSD系统的组成、实验条件、分辨率及EBSD数据处理方法等。通过多个典型的实例,系统介绍EBSD技术在材料研究领域中的应用,并就EBSD技术与其他相关分析技术的比较进行了讨论。
In this paper, the basic principle of electron back-scattering diffraction （EBSD） technique is introduced. The modern EBSD system, experimental conditions, spatial resolution, angular resolution and post analysis of the data are also described in this paper. Finally, the applications of the EBSD technique in material science are discussed by using a few typical examples.
出处
《中国体视学与图像分析》
2005年第4期205-210,共6页
Chinese Journal of Stereology and Image Analysis
基金
国家自然科学基金重点项目(No.50231030)
