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HP5510自动补偿器分辨率分析及提高近一个量级的方法

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摘要带有空气、材料温度补偿器ＨＰ５５１０Ａ的激光测量系统中，以材料温度变化对测量、加工精度影响最大。分析了不同情况下ＨＰ５５１０对材料温度的分辨率，指出ＨＰ５５１０在室温偏离国内外公认ＨＰ规定的２０℃恒温条件下，精度与分辨率可提高近一个数量级，并做试验证明了这一点。

作者屈胜利朱欣志李明辉

机构地区西安电子科技大学电子工程系

出处《电子工业专用设备》 1996年第2期13-15,共3页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

基金 "Gerber1434光绘机荫罩绘制研究"项目

关键词热膨胀激光测量和补偿分辨率

分类号 TH740.6 [机械工程—光学工程]

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电子工业专用设备

1996年第2期

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