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高温压力传感器的最新研究进展 被引量:1

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摘要 在各种传感器中,高温压力传感器是目前应用非常广泛的一种。高温压力传感器因其特殊的应用环境而收到人们的重视。近些年,在石油、汽车和航天等领域的广泛应用和使用要求,也促进了高温压力传感器的研究。
作者 蔡晓军
出处 《经济技术协作信息》 2005年第17期77-77,共1页
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同被引文献4

  • 1杨清风.半导体压力传感器的制造方法[J].国外传感技术,2005,15(2):46-47. 被引量:1
  • 2王奇,赵湛,耿照新,方震,曾欢欢,张博军.基于Si_3N_4薄膜的压力传感器[J].传感器与微系统,2006,25(3):71-73. 被引量:2
  • 3Shih J, Xie J, Tai Yuchong. Surface micromachined and integrated capacitive sensors for microfluidic applications [ C ]//Transducers,Solid-State Sensors,Actuators and Microsystems,12th international Conference,2003:388 --391.
  • 4William P E,James H S. A CMOS-compatible, surface micromachined pressure sensor for aqueous ultrasonic application [ J ]. Smart Structures and Materials,1995 (2448) :258 --265.

引证文献1

二级引证文献1

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