摘要
介绍了具有原子级分辨率的扫描隧道显微镜(STM)的工作原理及其相对于传统的电子束加工所具有的技术优势,阐述了STM在纳米加工中的应用和需要解决的技术难题。
Scanning tunneling microscope （STM） of atomic resolution and the mechanism and advantages of STM, compared with the traditional electron beam lithography, are introduced. Its applications in nanofabrication are outlined and the technical difficulties to be conquered are presented.
出处
《微纳电子技术》
CAS
2005年第9期425-429,434,共6页
Micronanoelectronic Technology
基金
国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90307003)山东省自然科学基金资助项目(Y2003G03)山东省科技攻关计划基金资助项目(022090105)
关键词
扫描隧道显微镜
隧道效应
纳米加工
电子束光刻
scanning tunneling microscope
tunneling effect
nanofabrication
electron beam lithography
