摘要
用二元光学理论讨论高衍射效率的光栅的原理及其制作方法．并用微电子工艺做出了二次量化四位相台阶的光栅，实验测得一级衍射效率为６８％。
In this paper, the fundamental principle and fabrication method for obtaining high efficiency diffractive gratings are described. Experimental result shows that the firstorder diffractive efficiency of a four-level staircase grating is 68%.
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第2期123-125,共3页
Chinese Journal of Lasers
基金
自然科学基金
关键词
光栅
衍射
二元光学
光学器件
binary optics, grating, diffraction efficiency
