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新型二维电容位置传感器

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摘要新型二维电容位置传感器ＭＨｗ。Ｂｏｎｓｅ等１．前盲目前，人们对二维（ＺＤ）位置测量越来越感兴趣。尤其是在ＩＣ生产、生物医学和各种显微技术领域中。迄今，基本的线性位置测量系统主要基于光栅或激光干涉方法，用这些系统可以达到此目的。这些系统在一些应用中也存...

作者袁凤

出处《现代计量测试》 1995年第2期52-54,共3页 Modern Measurement and Test

关键词电容位置传感器位置测量二维

分类号 TM934.207 [电气工程—电力电子与电力传动] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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现代计量测试

1995年第2期

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