摘要
阐述了电容式聚酰亚胺薄膜湿度敏感器的结构和性能，分析讨论了它的感湿机理，并用一种指数函数方法对敏感器的非线性进行线性化处理。
The structure and feature of capacitive humidity sensor of polyimide film areexpounded,and the mechanism of sensing humidity is analyzed and discussed.Meanwhile amethod of exponential function is used to linearize the nonlinearity of the sensor.
出处
《厦门大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
1995年第4期557-561,共5页
Journal of Xiamen University：Natural Science
基金
福建省自然科学基金
