扫描隧道显微镜研究GaAs（100）表面微缺陷被引量：1

下载PDF

导出

摘要扫描隧道显微镜研究ＧａＡｓ（１００）表面微缺陷陈坚邦，刘鸿飞（北京有色金属研究总院１０００８８）关键词：扫描隧道显微镜，微缺陷，抛光工艺（一）引言随着半导体器件向高速度、高集成度方向迅速发展，微电子技术从微米技术进入到纳米技术，从而对作为衬底的半导体...

作者陈坚邦刘鸿飞

机构地区北京有色金属研究总院

出处《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期224-227,共4页 Chinese Journal of Rare Metals

基金国家自然科学基金

关键词 STM 微缺陷半导体砷化镓

同被引文献1

1刘鸿飞,秦福,朱悟新,尤重远,陈开茅.扫描隧道显微镜重掺硅（111）表面微缺陷研究[J].Journal of Semiconductors,1996,17(7):513-517. 被引量：1
2关建飞.激光声表面波检测材料表面微缺陷数值研究[J].量子电子学报,2011,28(3):362-368. 被引量：1
3柴立群,许乔,周礼书,胡建平,侯晶.光学材料微缺陷引起的损伤机理及后处理[J].中国工程物理研究院科技年报,2003(1):268-269.
4关建飞,沈中华,倪晓武,陆建.激光超声探测铝板表面微缺陷深度的数值研究[J].测试技术学报,2010,24(1):15-21. 被引量：18
5杜红燕,王淑艳,张钢,刘理天.InSb晶体表面碟形坑缺陷[J].激光与红外,2006,36(1):26-28. 被引量：2
6石一飞,关建飞,沈中华,倪晓武,陆建.扫描激光激发瑞利波探测材料表面微缺陷[J].测试技术学报,2008,22(1):44-48. 被引量：4
7葛德彪,朱湘琴,杨利霞,郑奎松,魏兵,秦海俊.FDTD应用于各向异性介质及半空间散射问题[J].电波科学学报,2004,19(z1):41-44. 被引量：1
8李晓波,徐晨,戴天明,邓琛,沈光地.超薄膜腐蚀自停止技术的缺陷分析[J].红外与激光工程,2009,38(3):410-413. 被引量：1

稀有金属

1995年第3期

内容加载中请稍等...