摘要
本文概述了扫描探针显微镜在微电子技术中的应用，提出了扫描探针微电子学的概念和研究内容。可以相信这一领域的最终目标将是促进微电子技术经深亚微米向纳米电子学还进。
出处
《微电子技术》
1995年第2期1-8,共8页
Microelectronic Technology
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