光刻伺服盘两级定位器测试系统研究

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摘要本文从理论上对圆光栅的特性进行了分析及计算,设计出了光刻伺服磁盘两级定位系统位置传感器的执行机构,并采用AMS—200A型人射光干涉显微镜构成磁盘两级定位器定位精度测量系统,通过计算磁头在寻道和定道两个过程的驱动指令运行时间的总和来得到磁盘的平均找道时间,最后通过实验得到磁盘两级定位系统在平均找道时间为24.5ms时的定位精度为0.19μm。

作者袁智敏张江陵安康

机构地区华中理工大学计算机系

出处《微电子测试》 1995年第4期32-35,共4页

关键词磁盘光刻伺服盘两级定位器测试

分类号 TP333.35 [自动化与计算机技术—计算机系统结构] TP306 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]

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微电子测试

1995年第4期

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