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国产机械泵改装为~3He 减压泵的试验

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摘要国产2XZ—4型旋片式普通机械泵经改装后,漏气率在静止和运转两种情况下均小于10^(-5)帕.升/秒.实验表明可以作为~3He 制冷机的初级减压泵使用.

作者朱长飞曹烈兆

机构地区中国科学技术大学物理系

出处《真空与低温》 1989年第1期11-12,7,共3页 Vacuum and Cryogenics

关键词减压泵机械泵 ^3He制冷机

分类号 TB752 [一般工业技术—真空技术]

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真空与低温

1989年第1期

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