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用散射指示线测量1～25nm波段的粗糙度

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摘要用散射指示线测量１～２５ｎｍ波段的粗糙度机械制造和微电子、科技和生活设备生产的新高精度工艺的发展对加工表面的质量提出了越来越高的要求。电子计算机存储用的光盘、视频和声频仪器记录磁头、高功率激光器和ｘ射线激光器的反射镜等都可看作典型例子。在这种情况下，...

作者白光晴天

出处《激光与光电子学进展》 CSCD 1995年第2期31-33,共3页 Laser & Optoelectronics Progress

关键词散射指示线测量 1-25nm 粗糙度

分类号 TN247 [电子电信—物理电子学]

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激光与光电子学进展

1995年第2期

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