摘要
半导体器件生产中常用的是离子交换树脂法生产纯水,且一般采用复合床和混合床串联的形式.整个树脂床工作一段时间后,其树脂交换能力下降,水质降低.当水的电导率小于5兆欧时,就需对树脂进行再生处理,而整个再生处理以往都要对阴、阳树脂浸泡三次碱、酸.能否用减少泡酸(碱)的次数,又不使再生处理后的水质下降的办法来节省药品开支呢?实践证明是可以的.为了达到上述目的,采取了如下做法:1.阳床的再生处理将阳树脂用干净水反洗1～2次。
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1989年第2期64-64,共1页
Semiconductor Technology
