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电镜扫描偏转系统的计算机辅助设计

A Computer Aided Design for the Scanning Deflection System of EM
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摘要 实验表明,磁芯对空芯扫描偏转线圈空间磁场分布的影响在两者几何尺寸偏离不大时可以忽略。可以用空芯偏转线圈的磁场分布来计算电子在扫描偏转系统中的轨迹,并根据其光栅的畸变情况来调整和确定匝数分布,从而使工程设计更为简便和准确。 It is shown experimentally that a core has little influences on the spatial distribution of the magnetic fieldgenerated by a hollowed scanning deflection coil if the geometrical dimension of the core does notdeviate muchfrom that of the coil.The trajectory of an electron in the scanning deflection system can be computed throughthe distribution,and the arrangements of turn coils can be adjusted and specified in accordance with the distor-tion of the raster。
作者 沈一骑
出处 《电子显微学报》 CAS CSCD 1995年第2期139-141,共3页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society
关键词 扫描偏转系统 计算机应用 CAD 电镜 Elctron microscope Scanning deflection system Computer aided design
  • 相关文献

参考文献2

二级参考文献4

  • 1刘绪平,电子显微学报,1985年,4卷,1期,1页
  • 2丁守谦,物理学报,1981年,30卷,459页
  • 3丁守谦,物理学报,1980年,29卷,1416页
  • 4赵凯华,电磁学.上

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