螺旋波等离子体蚀刻装置研制
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5Chap.,BN,张一鸣.等离子体蚀刻基础（下）[J].国外核聚变与等离子体应用,1992(2):60-72.
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6华虹半导体功率器件平台累计出货量突破500万片晶圆[J].集成电路应用,2017,34(4):90-90.
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10张晓春,郭永康,郭履容.等离子体蚀刻衍射光学元件[J].中国激光,1993,20(9):663-666. 被引量：1
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