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高纯水制备工艺的两点改进

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摘要 一、凝聚过滤法预处理原水国内外电子工业用高纯水,大多用市政自来水或厂备深井水作为原水来制备.预处理工艺一般仅包括选用各种粗、细及活性炭吸附过滤器,除去原水中各种悬浮颗粒、胶体、有机物、细菌、色素及产生的浊度等.很少用到加药凝聚过滤预处理.
作者 赵玉清
机构地区 襄樊仪表元件厂
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1989年第1期18-20,共3页 Semiconductor Technology
关键词 高纯水 凝聚过滤法 复床混床
分类号 TQ084.41 [化学工程]
  • 相关文献
半导体技术
1989年 第1期

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