多晶硅X型压力传感器

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摘要本文介绍了多晶硅Ｘ型压力传感器的设计和制作工艺。对依据理论模型计算的Ｘ型压力传感器的灵敏度和实测值进行了比较，两者均吻合较好，对于经受住２．５倍过载的０￣６ＭＰａ的多晶硅Ｘ型压力传感器，灵敏度约为０．７ｍｖ／ｖ／ＭＰａ，线性度优于０．５％ＦＳ。

作者田雷齐虹

出处《上海微电子技术和应用》 1995年第2期19-21,共3页

关键词多晶硅 X型压力传感器

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上海微电子技术和应用

1995年第2期

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