表面形貌光学法测量技术
被引量：7
The Optical Means Used in Measuring Surface Microtopography
摘要
介绍了在表面微观形貌测量中常用的光学测量方法,分析了它们各自的原理和优缺点,最后对光学法表面微观形貌测量技术的发展作了简要评述。
出处
《计量与测试技术》
2005年第6期4-6,共3页
Metrology & Measurement Technique
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