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三道光刻TFT制造技术

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摘要 LG菲利蒲公司开发了三道光刻TFT制造技术，而现在的TFT制作普遍采用四～五道光刺技术。随着光刻技术的减化，不仅压缩了工艺流程，降低成本，而且提高生产能力减化工艺也是TFT企业竞争的主要手段之一，因而LG菲利蒲公司靠三道光刻工艺技术将提高TFT—LCD产品的竞争力。

出处《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期139-139,共1页 Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays

关键词制造技术 TFT 光刻技术工艺流程降低成本企业竞争生产能力工艺技术竞争力 LCD 公司 LG

分类号 F275.3 [经济管理—企业管理] TN873.93 [电子电信—信息与通信工程]

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液晶与显示

2005年第2期

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