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《半导体制造中气体的使用》即将出版

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摘要由化工部光明情报中心站组织翻译的《半导体制造中气体的使用》一书，主要内容包括：1．气体的主要性质；2．三十种半导体制造用气体的特性，3．气体贮存、使用、运输、泄漏处理、度气处理的注意事项，4．火灾、中毒的紧急处理，以及健康与安全管理，5．容器、

机构地区化工部光明情报中心站

出处《低温与特气》 CAS 1987年第1期F004-F004,共1页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词半导体制造气体出版泄漏处理紧急处理安全管理中心站化工部气处理

分类号 TN305 [电子电信—物理电子学] TQ116 [化学工程—无机化工]

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低温与特气

1987年第1期

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